干式螺杆真空泵可按‌转子结构、压缩级数、支撑技术‌三大核心维度分类，不同类型适配不同工业工况，是半导体、化工、锂电等领域无油真空场景的主流选型。

按转子结构分类
‌等螺距转子型‌：螺杆螺距沿轴向全程一致，结构简单，对颗粒物、可凝性气体的耐受性强，维护门槛低，但无内压缩设计，能耗相对偏高，适配常规含少量粉尘、水蒸气的通用工业场景，是市面存量最大的基础款机型 。
‌变螺距转子型‌：螺距沿排气端逐步收窄，通过容积变化实现气体自压缩，相比同规格等螺距机型‌节能30%‌，排气温度可控制在90℃以内，适配化工溶剂回收、锂电材料干燥等复杂气体工况，是当前节能改造的主流选型 。
‌变截面（锥形）转子型‌：依靠螺杆直径沿轴向逐步缩小实现压缩，转子热变形量极小，间隙控制精度更高，在低入口压力下运行稳定性突出，适配精密冶金、超低真空镀膜等特殊低负荷场景 。
按压缩级数分类
‌单级干式螺杆泵‌：仅靠一对平行螺杆完成抽气，极限真空约‌1Pa‌，结构紧凑、成本适中，适配洁净度要求高但真空度需求中等的场景，如普通工业真空干燥、食品加工等 。
‌双级干式螺杆泵‌：采用两组螺杆串联压缩设计，极限真空可突破‌0.1Pa‌，专攻光伏镀膜、半导体精密刻蚀等对真空度要求极高的超低真空领域，抽气效率相比单级机型提升40%以上 。
按转子支撑技术分类
‌机械轴承支撑型‌：转子由普通滚动轴承支撑，技术成熟、维护成本低，是当前工业现场应用最广泛的通用类型，适配绝大多数常规连续生产场景，平均无故障运行时长可达20000小时以上 。
‌磁悬浮干式螺杆泵‌：转子完全无接触磁悬浮运行，运行间隙仅0.05mm，无机械摩擦损耗，能耗比机械支撑机型再降40%，极限真空可达‌0.01Pa‌量级，使用寿命大幅延长，适配半导体晶圆制造等高端高洁净场景 。
此外，还可按冷却方式分为水冷型、气冷型，按过流材质分为铸铁通用型、PTFE/哈氏合金防腐型，可按需适配腐蚀性、易燃易爆等特殊工况 。

如果你的工况涉及大量水蒸气、腐蚀性介质，也可以考虑这类适配性强的真空设备：