全球MRO工业品服务商

增值增效一站式管家服务

24小时咨询热线：

13632889885

产品分类

PRODUCT CLASSIFICATION

原装 Daitron大途小直径晶圆双面擦洗清洗机 DSC-200CV

顶部
制造设备
半导体裸晶圆
打扫
小直径晶圆双面擦洗清洗机 DSC-100CV、DSC-200CV
小直径晶圆双面擦洗清洗机 DSC-100CV、DSC-200CV
点击此处查看 Daitron 原装清洗机的列表。
产品名称
小直径晶片双面擦洗清洗机
模型
DSC-100CV、DSC-200CV
制造商
大创公司
制造商标志

＃半导体
#晶圆
＃半导体
#LD（激光二极管）
#PCSEL
#VCSEL
#PD（光电二极管）
#EML
#场效应晶体管
#碳化硅
#Si
＃锯
#LT
＃蓝宝石
#GaN
＃打扫
#超纯水
＃擦洗
＃旋转
＃刷子
#自动/全自动
手动/半自动

所属分类：
Daitron大途
发布时间： 2026-09-18

留言咨询

详细介绍

概述

[支持晶圆减薄和薄衬底工艺流程]

该设备专为抛光后清洗小直径晶圆而设计。晶圆通过传送带输送至双面清洗机构，在机构内旋转并用双面刷进行清洗。经纯水冲洗后，晶圆被浸入水中并存放于卸料器中。

[兼容设备]

材料：蓝宝石、硅、低温、氮化镓 / 晶圆尺寸：2.5、3、4、6、8 英寸

特征

兼容多种小直径晶圆尺寸。
简单的储罐配置。
去除磨蚀性物质：表面活性剂/高压清洗（可选）。
通过边缘驱动辊实现低刮擦性。
小直径工件：循环时间 30 秒/件。
*双面擦洗时间 15 秒/件。

主要规格

模型	DSC-100CV	DSC-200CV
兼容尺寸	φ(2) 3、4 英寸	φ(4) 6, 8 英寸
作品	装载机（湿式）	装载机（湿式）
	预清洁部分	预清洁部分
	双面擦洗清洁区	双面擦洗清洁区
	表面活性剂供应	表面活性剂供应
	商用车运输单元	商用车运输单元
	卸货机（湿式）	气刀干燥装置（可选）
		卸货机（湿/干）