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原厂 Daitron大途 单片式点流喷射洗涤器‌ WJS-200B

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晶圆喷射洗涤器 WJS-150B/200B/300B
晶圆喷射洗涤器 WJS-150B/200B/300B
产品名称
晶圆喷射洗涤器
模型
WJS-150B/200B/300B
制造商
大创公司
制造商标志

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概述
・高速清洗仅使用纯水进行。
  • 详细介绍

特征

- 可处理所有工艺流程,包括晶圆加工、晶圆环切(半切、全切、扩展)等。-
专用喷嘴允许在刷子清洗过程中喷洒表面活性剂(中性/弱碱性)。-
可选配刷子压力机构。


主要规格

晶圆尺寸:~φ6:150B ~φ8:200B ~φ12:300B
环尺寸:~φ6:150B ~φ8:200B ~φ12:300B
高速喷射清洗:~100kg/cm²
刷洗:尼龙、伯格林(可选)
超声波清洗:1.1MHz
双液清洗:专用喷嘴
平台旋转速度:3,000rpm
注册品种数量:10通道
清洗步骤:20步
机器尺寸:600(宽)×530(深)×540(高) *WJS-150B

本文网址 : https://www.yamakin-cn.com/product/15461.html

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