- 可处理所有工艺流程，包括晶圆加工、晶圆环切（半切、全切、扩展）等。-
专用喷嘴允许在刷子清洗过程中喷洒表面活性剂（中性/弱碱性）。-
可选配刷子压力机构。
晶圆尺寸：~φ6：150B ~φ8：200B ~φ12：300B
环尺寸：~φ6：150B ~φ8：200B ~φ12：300B
高速喷射清洗：~100kg/cm²
刷洗：尼龙、伯格林（可选）
超声波清洗：1.1MHz
双液清洗：专用喷嘴
平台旋转速度：3,000rpm
注册品种数量：10通道
清洗步骤：20步
机器尺寸：600(宽)×530(深)×540(高) *WJS-150B
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