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原装 OKAZAKI冈崎 ICF34 真空法兰热电偶

用于半导体制造设备和真空设备的温度传感器
半导体和真空器件用温度传感器

特征
半导体制造设备用温度传感器是各种半导体制造工艺中用于温度控制的关键温度传感器。我们可提供满足各种需求的多种产品,从工作温度超过 1000°C 的高温传感器(包括用于扩散炉的轮廓温度传感器)到用于洁净室温度控制的传感器,应有尽有。这些传感器设计用于真空设备内部,采用市售真空法兰或 O 形圈密封,护套式热电偶则采用银焊料密封。我们还提供泄漏测试服务,以满足所需的真空度要求。

用于扩散炉的异型热电偶
在受控的专用洁净室中制造。配备专用的温度校准系统,用于校准剖面温度传感器。
  • 详细介绍

真空设备用各种护套式热电偶

ICF34真空法兰热电偶,带φ0.5护套

当响应速度是首要考虑因素时,这种方法非常理想。为了获得更快的响应速度,还可以采用阶梯式加工,最小刀尖外径可达φ0.15。

ICF34真空法兰φ0.5护套热电偶的图像。

ICF34真空法兰热电偶,带φ1.6护套

这是常用的规格。其最高使用温度可达 650°C(单位:K)。

ICF34真空法兰φ1.6护套热电偶的图像。

ICF34 真空法兰安装式 φ1.0 2对护套热电偶

也可以插入两个或多个护套式热电偶。此外,我们提供多种护套材料供您选择,从耐高温型到耐腐蚀型,详情请联系我们。

ICF34真空法兰式,φ1.0,2对护套热电偶的图像。

φ1.0 带套管(O 形圈)的护套热电偶

这是常用的规格。其最高使用温度可达 650°C(单位:K)。除了护套材料外,通孔的外径也可以指定并予以配合。

φ1.0 护套式热电偶,带贯穿套管(O 形圈)的图像。

本文网址 : https://www.yamakin-cn.com/product/15754.html

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