L12系列（一体式）
功能
低压
焊接规范（1 MPa 或更低），一体式金属垫片
接头规范。
调节阀结构
针型
相容气体
7 种特殊高压气体、
腐蚀性气体和除有毒气体
以外的其他气体。
标准流速
约60NL/分钟
目录

词汇表

基本性能描述

特征

L12系列压力调节器设计符合1.125英寸SEMI标准。
适用于 1.125 英寸和 1.5 英寸 W 型密封圈和 C 型密封圈，用于集成式气体供应系统。
该系列产品还提供高流量和真空规格，以及端面密封接头类型。
规格
入口压力 最大值 0.99 兆帕
可调压力（L12，L12H） 最大值 0.7 MPa
（量程规格：0-0.2 MPa、0-0.4 MPa、0-0.7 MPa）
可调压力（L12V） 量程规格：-0.08 至 0.1 MPa，-0.08 至 0.2 MPa
耐压性 1.5 MPa（入口侧）
变异系数 0.1 (L12)，0.15 (L12H)
工作温度 -40 至 +70°C
外部泄漏 1×10-11Pa・m3/sec・He（真空法）
大量的 约 270 克（1.125 英寸 SEMI 规格）