L18H系列（小流量、中流量型）
功能
低压
焊接规范（1 MPa 或更低），一体式金属垫片
接头规范。
调节阀结构
针型
相容气体
7 种特殊高压气体、
腐蚀性气体和除有毒气体
以外的其他气体。
标准流速
约60NL/分钟
目录

词汇表

基本性能描述

特征

L18H系列是一款1.5英寸的符合SEMI标准的块状压力调节器，专为设备制造商设计的集成式气体供应系统而打造。此外，其流量特性相比L18系列有了显著提升。
焊接接头规格也非常适合阀门箱等节省空间的应用。
它的流量大约是之前 L18 系列产品的两倍（在相同的面对面尺寸下）。
隔膜的外部密封采用金属密封。
规格
适用气体 高纯气体
入口压力 0.99 兆帕或更低
调节压力 最大值 0.7 MPa
（量程规格：0-0.2 MPa、0-0.4 MPa、0-0.6 MPa、0-0.7 MPa）
耐压性 1.5 MPa（入口侧）
变异系数 0.1
工作温度 -10 至 +40°C
外部泄漏 1×10-11Pa・m3/s・He（真空法）
大量的 约0.36千克
安装方法 背面用螺丝固定