L20系列（高压标准流量型）
功能
高压
焊接金属垫片接头
调节阀结构
针型
相容气体
7 种特殊高压气体、
腐蚀性气体和除有毒气体
以外的其他气体。
标准流速
约60NL/分钟
目录

词汇表

基本性能描述

操作说明

特征

L20系列专为高压半导体工艺制造气体而设计。其基本结构采用外部金属密封和焊接接头，从而实现了卓越的外部泄漏和颗粒物防护性能。此外，它还提供多种选件，可兼容各种高纯度气体，是气瓶柜的理想之选。
规格
入口压力 14.8 MPa 或更低（最大值 19.6 MPa）
调节压力 最大值 0.99 MPa
（量程规格：0-0.2 MPa、0-0.4 MPa、0-0.6 MPa、0-0.99 MPa）
原始压力波动 入口压力：每 0.00021 MPa 的调节压力变化，入口压力增加 0.1 MPa。
耐压性 22.2 MPa（入口侧）
变异系数 0.09
工作温度 -10 至 +40°C
外部泄漏 1×10-11Pa・m3/s・He（真空法）
内部容积 4.67 厘米（不含压力表和配件）
大量的 约1.29公斤
安装方法 安装方式为：前面板上使用螺母，背面使用螺钉（参见外部视图图）。