L21系列（高压标准流量型）
功能
高压
焊接金属垫片接头
调节阀结构
针型
相容气体
7 种特殊高压气体、
腐蚀性气体和除有毒气体
以外的其他气体。
标准流速
约60NL/分钟
目录

词汇表

基本性能描述

操作说明

特征

L21系列专为高压半导体工艺制造气体而设计。其基本结构采用外部金属密封和焊接接头，与L20系列相比性能更优。凭借出色的外部泄漏和颗粒物控制能力，它是气瓶柜的理想之选。
规格
入口压力 14.8MPa 或更低（最大 24MPa）
调节压力 最大值 0.99 MPa
（量程规格：0-0.2 MPa、0-0.4 MPa、0-0.6 MPa、0-0.99 MPa）
原始压力波动 入口压力：每 0.1 MPa 调整压力变化不超过 0.0005 MPa。
耐压性 31.5 MPa（入口侧），1.5 MPa（调节侧）
变异系数 0.09
工作温度 -10 至 +40°C
外部泄漏 1×10-11Pa・m3/s・He（真空法）
内部容积 4.75厘米（不含压力表和配件）
大量的 约1.4公斤
安装方法 背面用螺丝固定