L61系列（平面密封型，高压，高流量）
功能
高压
焊接金属垫片接头
调节阀结构
扁平密封式散装气体
相容气体
其他气体
标准流速
100-500 荷兰卢比/分钟
目录

词汇表

基本性能描述

操作说明

特征

L61系列专为高压、大流量半导体工艺气体而设计。其控制阀结构采用平面密封，确保在短行程下实现高流量。
规格
入口压力 14.8 MPa 或更低（最大值 19.6 MPa）
调节压力 最大值 0.8 MPa
（量程规格：0-0.2 MPa、0-0.4 MPa、0-0.6 MPa、0-0.8 MPa）
原始压力波动 入口压力：每 0.0006 MPa 的调节压力变化，入口压力增加 0.1 MPa。
耐压性 22.2 MPa（入口侧）
变异系数 0.07
工作温度 -10 至 +40°C
外部泄漏 1×10-11Pa・m3/s・He（真空法）
内部容积 32.3 厘米（不含压力表和配件）
大量的 约4.7公斤
安装方法 可通过前面板安装螺母或后部螺钉进行安装。