L62系列（高压、大流量型）
功能
高压
焊接金属垫片接头
调节阀结构
针型
相容气体
7 种特殊高压气体、
腐蚀性气体和除有毒气体
以外的其他气体。
标准流速
100-500 荷兰卢比/分钟
目录

词汇表

基本性能描述

操作说明

特征

L62系列专为高压、大流量半导体工艺气体而设计。其基本结构采用外部金属密封和焊接接头，从而实现了卓越的外部泄漏和颗粒物控制性能。这款大流量型号是气瓶柜的理想之选。
这是我们 L61 系列的针状结构类型（具有相同的端面尺寸）。
您可以选择最适合您所使用气体的阀座材料。
规格
适用气体 高纯气体
入口压力 14.8 MPa 或更低（最大值 19.6 MPa）
调节压力 最大值 0.8 MPa
（量程规格：0-0.2 MPa、0-0.4 MPa、0-0.6 MPa、0-0.8 MPa）
原始压力波动 入口压力：每 0.1 MPa 调整压力变化不超过 0.001 MPa。
耐压性 22.2 MPa（入口压力）
变异系数 0.11
工作温度 -10 至 +40°C
外部泄漏 1×10-11Pa・m3/s・He（真空法）
内部容积 32.3 厘米（不含压力表和配件）
大量的 约4.7公斤
安装方法 可通过前面板安装螺母或后部螺钉进行安装。