L81系列（两级标准流量型）
功能
高压
焊接金属垫片接头
调节阀结构
针型
相容气体
7 种特殊高压气体、
腐蚀性气体和
除有毒气体以外的其他气体
；气体专用设备。
标准流速
约60NL/分钟
目录

词汇表

基本性能描述

操作说明

特征

L81系列产品专为半导体工艺制造气体设计，采用两级减压结构。其基本结构包括外部金属密封和焊接接头，从而实现了优异的外部泄漏和颗粒物防护性能。两级减压结构使其不易受初始压力波动的影响，确保压力和流量的稳定。此外，它还适用于液化气体绝热膨胀导致温度显著下降的气体。
规格
入口压力 14.8 MPa 或更低（最大值 19.6 MPa）
调节压力 最大值 0.99 MPa
（量程规格：0-0.2 MPa、0-0.4 MPa、0-0.6 MPa、0-0.8 MPa、0-0.99 MPa）
原始压力波动 入口压力：每 0.000007 MPa 的调节压力变化，入口压力增加 0.1 MPa。
耐压性 22.2 MPa（入口侧）
变异系数 0.03
工作温度 -10 至 +40°C
外部泄漏 1×10-11Pa・m3/s・He（真空法）
内部容积 8.9 厘米（不含压力表和配件）
大量的 约 2.0 公斤
安装方法 前后面板均采用安装螺母进行固定。