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货存 YUTAKA丰 ‌‌‌‌‌‌‌绝对压力型压力流量真空调节 L96SS-CO

L96系列(绝对压力型)
功能
低压
焊接规范(1 MPa 或更低):金属垫片接头。
调节阀结构
针型
相容气体
7 种特殊高压气体、
腐蚀性气体和除有毒气体
以外的其他气体。
标准流速
约60NL/分钟
目录

词汇表

基本性能描述

操作说明

特征

L96系列是一款专为半导体工艺制造气体设计的真空控制装置,尤其适用于低蒸气压气体。其基本结构采用外部金属密封和焊接接头,从而实现了优异的外部泄漏和颗粒物防护性能。
规格
入口压力 0.99 兆帕或更低
调节压力 -0.1MPa 至 0 至 0.2MPa
耐压性 22.2 MPa(入口侧)
变异系数 0.07
工作温度 -10 至 +40°C
外部泄漏 1×10-11Pa・m3/s・He(真空法)
内部容积 5.739 厘米(不含压力表和配件)
大量的 约1.6公斤
安装方法 通过背面的螺丝进行安装(参见外部视图图)
  • 所属分类 :
    YUTAKA丰
  • 发布时间 : 2026-10-22
  • 详细介绍

材料

【注意事项】
■ 型号:L96SS-CO 采用专为一氧化碳 (CO) 气体选用的材料制成。
请勿与其他气体一起使用。
类型 L96SS L96SH L96SS-CO
气体接触段
主机 SUS316 L
调节阀杆和阀座 SUS316 L 哈氏合金® C -22 SUS316 L
隔膜 哈氏合金® C -22 SUS316 L
减震弹簧 PCTFE(Diflon®)
阀座 PCTFE(Diflon®)
压力表接头密封垫圈 尼 SUS316 L
非气体接触部分
封面 B 黄铜(镀铬)
连接盖螺母 SUS304
压力调节螺钉 黄铜(镀镍)
压力调节手柄 黄铜(镀铬)

清洁级别

  非抛光表面(B级) 抛光规格(A级)
气体接触部件的表面处理 Ra 值小于等于 0.80μm Ra 值小于等于 0.18μm

标准面对面尺寸

1/4” 端面密封接头端面间距
(公头和母头相同)……………………………… 约 94 毫米

【备注】
■ 压力表连接接头的标准尺寸和形状为 1/4 英寸端面密封外螺纹接头。
■ 进/出口接头的类型、尺寸和形状(外螺纹、内螺纹)组合可从零件编号表中选择。 ■ 除 UJR® 、 VCR®和CVC®
以外的接头,其端面间距可能与标准端面间距有所不同。

本文网址 : https://www.yamakin-cn.com/product/17055.html

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