L26系列（中/低压标准流量型）
功能
中压（6 MPa 或以下）、
低压（1 MPa 或以下）、
焊接金属垫片接头。
调节阀结构
针型
相容气体
7 种特殊高压气体、
腐蚀性气体和
除有毒气体以外的其他气体
；气体专用设备。
标准流速
约60NL/分钟
目录

词汇表

基本性能描述

操作说明

特征

L26系列专为低压和中压半导体工艺制造气体而设计。其基本结构采用外部金属密封和焊接接头，在基本性能方面是对L25系列的改进型。凭借优异的外部泄漏和抗颗粒物性能，它是设备供气系统中阀箱和连接件的理想选择。
规格
入口压力 6兆帕或更低
调节压力 最大值 0.99 MPa
（量程规格：0-0.2 MPa、0-0.4 MPa、0-0.6 MPa、0-0.99 MPa）
原始压力波动 入口压力：每 0.001 MPa 的调节压力变化，入口压力增加 0.1 MPa。
耐压性 一次侧 22.2MPa
变异系数 0.21
工作温度 -10 至 +40°C
外部泄漏 1×10-11Pa・m3/s・He（真空法）
内部容积 4.75厘米（不含压力表和配件）
大量的 1公斤
安装方法 背面用螺丝固定