L35系列（中压、中流量型）
功能
中压（6 MPa 或以下）、
低压（1 MPa 或以下）、
焊接金属垫片接头。
调节阀结构
针型
相容气体
其他仅使用
燃气的设备
标准流速
100-500 荷兰卢比/分钟
目录

词汇表

基本性能描述

操作说明

特征

L35系列专为低压和中压半导体工艺制造气体而设计。其基本结构采用外部金属密封和焊接接头，可有效控制外部泄漏和颗粒物。凭借更大的流量范围，它非常适合用于3/8英寸管道系统中的阀箱和连接装置。
规格
入口压力 6兆帕或更低
调节压力 最大值 0.9 MPa
（量程规格：0-0.2 MPa、0-0.4 MPa、0-0.6 MPa、0-0.9 MPa）
原始压力波动 入口压力：每 0.0007 MPa 调节压力变化，入口压力增加 0.1 MPa。
耐压性 9 MPa（入口侧）
变异系数 0.21
工作温度 -10 至 +40°C
外部泄漏 1×10-11Pa・m3/s・He（真空法）
内部容积 11.3 厘米（不含压力表和配件）
大量的 约1.9公斤
安装方法 可通过前面板安装螺母或后部螺钉进行安装。