L36系列（低压、高流量型）
功能
低压
焊接规范（1 MPa 或更低）：金属垫片接头。
调节阀结构
针型
相容气体
7 种特殊高压气体、
腐蚀性气体和除有毒气体
以外的其他气体。
标准流速
100-500 荷兰卢比/分钟
目录

词汇表

基本性能描述

操作说明

特征

L36系列专为低压半导体工艺气体而设计，结构紧凑，同时最大限度地提高了流量。它具有出色的外部泄漏和抗颗粒物性能，是阀箱和连接应用的理想之选。
规格
入口压力 2兆帕或更低
调节压力 最大值 0.99 MPa（量程规格：0-0.2 MPa、0-0.4 MPa、0-0.6 MPa、0-0.99 MPa）
原始压力波动 入口压力：每 0.0075 MPa 的调节压力变化，入口压力增加 0.1 MPa。
耐压性 6 MPa（入口侧）
变异系数 1.1
工作温度 -10 至 +40°C
外部泄漏 1×10-11Pa・m3/sec・He（真空法）
大量的 约2公斤
安装方法 后部螺丝安装（也可选择前部安装）