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供货 NICHIAS霓佳斯耐等离子体特种氟橡胶 TOMBO™ 编号 2675-FC

首页产品信息产品列表橡胶制品高性能橡胶 Blazer® O型环-FC

耐等离子体特种氟橡胶

TOMBO™ 编号 2675-FC、2685-FC

Blazer® O型环-FC
Blazer O型圈-FC (BFC) 和 Blazer O型圈-FE (BFE) 是特殊的氟橡胶（特种氟橡胶），具有耐等离子体腐蚀和成本低廉的特点。我们的共混技术抑制了等离子体腐蚀引起的重量损失和开裂，同时与全氟橡胶 (FFKM) 相比显著降低了成本。

产品类别

橡胶制品高性能橡胶

工业部门

电子学半导体和FPD电子元件适用于各种工厂的设备管道
特征

所属分类：
NICHIAS霓佳斯
发布时间： 2026-10-23

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详细介绍

特征

这种材料能抵抗等离子体照射引起的重量损失和开裂。其
优异的不粘性能使其适用于运动部件。
其低金属含量减少了颗粒物问题。

目的

在半导体和液晶显示器制造设备中，暴露于等离子体环境中的氟橡胶（FKM）密封件
存在寿命和颗粒生成问题，而
氟化氟橡胶（FFKM）密封件价格过高且性能较差。

目标设备
： Blazer O型环-FC：等离子体化学气相沉积（CVD）设备

血浆阻力（减重率）

评估条件
设备：表面波等离子刻蚀系统
样品形状：AS568B-214
气体类型：O2 (2000 sccm) + CF4 (40 sccm)
压力：133 Pa
输出功率：2000 W
曝光时间：2.0 小时
延伸率：5%

等离子体抗性（抗裂性）

评估条件
设备：表面波等离子刻蚀系统
样品形状：AS568B-214
气体类型：O₂ (2000 sccm) + CF₄ (40 sccm)
压力：133 Pa
输出功率：2000 W
曝光时间：2.0 小时
延伸率：5%
目视观察：前 20 分钟每 5 分钟观察一次，之后至 120 分钟每 10 分钟观察一次

本文网址： https://www.yamakin-cn.com/product/17147.html

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