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货存 NICHIAS霓佳斯 耐等离子体全氟橡胶 TOMBO™ 2670-PFW

货存 NICHIAS霓佳斯 耐等离子体全氟橡胶 TOMBO™ 2670-PFW

首页产品信息产品列表 橡胶制品高性能橡胶 全氟橡胶O型圈

耐等离子体全氟橡胶

TOMBO™ 2670-PFW 号

全氟橡胶O型圈
它具有优异的抗等离子体性能，可用于半导体制造的干法刻蚀设备。


产品类别

橡胶制品高性能橡胶

工业部门

电子学半导体和FPD电子元件
特征
耐热性指南*：200°C；
标准硬度（A级硬度）：70；
等离子体处理过程中重量损失极小，具有优异的等离子体耐受性。
*耐热性指南可能因各种条件而异。
目的
用于等离子蚀刻设备、等离子CVD设备等的密封件。
其他的
“TOMBO”是日亚化学株式会社的注册商标。
标有 ® 的名称是 Nichias Corporation 的注册商标。
标有™的名称是日亚化学株式会社的商标。
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耐等离子体全氟橡胶

TOMBO™ 2670-PFW 号

全氟橡胶O型圈

它具有优异的抗等离子体性能，可用于半导体制造的干法刻蚀设备。

产品类别

橡胶制品高性能橡胶

工业部门

电子学半导体和FPD电子元件

特征

耐热性指南*：200°C；
标准硬度（A级硬度）：70；
等离子体处理过程中重量损失极小，具有优异的等离子体耐受性。
*耐热性指南可能因各种条件而异。

目的

用于等离子蚀刻设备、等离子CVD设备等的密封件。

其他的

  • “TOMBO”是日亚化学株式会社的注册商标。
  • 标有 ® 的名称是 Nichias Corporation 的注册商标。
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