东京计装TOKYOKEISO 半导体流量计 P-813-40-6F-S2 P-810
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流量测量设备

吹扫流量计
其他阵容
非常适合测量半导体制造工序中各种气体的流量。采用周边密封设计，可靠性高。广泛应用于各种设备。另有电解抛光、低泄漏的高品质型号可供选择。
目录和手册
P-810
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P系列
吹扫计的功能和选择
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*由于产品改进，所提供的信息可能会有所变更，恕不另行通知。
主要用途
半导体制造设备气体
对于泄漏量很重要的管线
标准规格
测量目标
一般气体
及液体（仅水当量：密度1.0g/cm³、粘度1.0mPa・s）
口径
Rc: 1/4" (标准), 1/8"
NPT: 1/4", 1/8"
SW: 1/4", 3/8"
VCR: 1/4", 3/8"
流量范围
空气：
最大 6 至 60 L/min（正常）
最小 5 至 50 mL/min（正常）
水：
最大 0.2 至 2 L/min
最小 5 至 50 mL/min
・流量范围的换算方法请参考P型功能与选择（TG-S0001）
流体温度
最高120°C（根据包装材料而变化）
流体压力
最大0.8兆帕。
测量精度
±3% 满量程