TOKYOKEISO东京计装 P-823-40-6F-R2  小型流量计P-820
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吹扫流量计
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P-820
流量测量设备

吹扫流量计
其他阵容
与P-810一样，它广泛应用于各种半导体设备。我们还生产簧片开关型报警触点。

目录和手册
P-820

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P系列
吹扫计的功能和选择

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*由于产品改进，所提供的信息可能会有所变更，恕不另行通知。

主要用途
用于半导体制造设备

标准规格
测量目标 一般气体
及液体（仅水当量：密度1.0g/cm³、粘度1.0mPa・s）
口径 Rc: 1/4" (标准), 1/8"
NPT: 1/4", 1/8"
SW: 1/4", 3/8"
VCR: 1/4", 3/8"
流量范围 空气
 P-821： 
最大值：12 至 60 L/min（正常）
最小值：0.5 至 5 mL/min（正常）
 P-823： 
最大值：6 至 60 L/min（正常）
最小值：5 至 50 mL/min（正常）

水
 P-821： 
最大值：0.4 至 2 L/min
最小值：5 至 50 mL/min
 P-823： 
最大值：0.2 至 2 L/min
最小值：5 至 50 mL/min

・流量范围的换算方法，请参照P型功能与选择（TG-S0001）。
流体温度 最高120°C（根据包装材料而变化）
流体压力 最大0.8MPa
测量精度 P-823：满量程的±3%