东京计装TOKYOKEISO 超纯水流量计 P-771-00-TW-R1

 P-771
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流量测量设备

吹扫流量计
其他阵容
这款全氟树脂超洁净吹扫流量计，接液部件甚至机械部件均未使用金属，可有效防止在大气中生锈等问题。它完全采用PFA模制而成，并使用直接管连接接头。非常适合测量半导体制造工艺中纯水、超纯水和化学液体等的流量。
目录和手册
P-771
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P系列
吹扫计的功能和选择
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*由于产品改进，所提供的信息可能会有所变更，恕不另行通知。
主要用途
半导体生产线用超纯水和化学溶液
标准规格
测量目标
所有液体
口径
管端配件：φ6.35×t1（标准）、φ6×t1、φ8×t1
柱配件（Super 300 型）：φ6×t1 用于管连接、φ8×t1 用于管连接
Rc：1/8"
流量范围
水：
最大 0.2 至 2 L/min
最小 3 至 15 mL/min
・流量量程换算方法请参考P型功能及选择（TG-S0001）
・选择流量刻度时请参考标准流量表
流体温度
最高60℃
流体压力
最大0.5兆帕。
过程连接
管端配件、柱配件、Rc
测量精度
±5% 满量程