东京计装TOKYOKEISO 大气流量计 P-771-U0-TW-PBP-771
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流量计/液位计产品指南
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吹扫流量计
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P-771
流量测量设备
吹扫流量计
其他阵容
这款全氟树脂超洁净吹扫流量计,接液部件甚至机械部件均未使用金属,可有效防止在大气中生锈等问题。它完全采用PFA模制而成,并使用直接管连接接头。非常适合测量半导体制造工艺中纯水、超纯水和化学液体等的流量。
目录和手册
P-771
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P系列
吹扫计的功能和选择
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*由于产品改进,所提供的信息可能会有所变更,恕不另行通知。
主要用途
半导体生产线用超纯水和化学溶液
标准规格
测量目标 所有液体
口径 管端配件:φ6.35×t1(标准)、φ6×t1、φ8×t1
柱配件(Super 300 型):φ6×t1 用于管连接、φ8×t1 用于管连接
Rc:1/8"
流量范围
水:
最大 0.2 至 2 L/min
最小 3 至 15 mL/min
・流量量程换算方法请参考P型功能及选择(TG-S0001)
・选择流量刻度时请参考标准流量表
流体温度 最高60℃
流体压力 最大0.5兆帕。
过程连接 管端配件、柱配件、Rc
测量精度 ±5% 满量程
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