全新 MIYUKI美幸辉 BH-N100 半导体真空直阀 气动蝶阀BH系列
简单的齿条齿轮传动确保了卓越的可靠性。相对于直径的传导性能是所有真空阀中最高的。


特征
01.该阀门可在0~45度和90度（全开）两个开启位置进行操作，用一个阀门即可实现慢速排气，也可实现高速排气。
02. 除了通常的全闭、全开气缸外，还具备可设定阀门开度0~45度的气缸，为两级结构。
03.气缸虽小，但开启时推力加倍（确保动作可靠），且在行程末端有气垫作用（减震）。
04.完全关闭时，阀瓣完全密封。
05.安装位置、方向不受限制。
06.界面厚度极薄，具有优异的电导性能。
07. 在洁净室组装、检查。
规格

法兰类型
JIS、ISO、KF（NW）、CF
口径
25A至350A
泄漏量
1×10 -9 Pa・m 3 /s以下
使用区域
10 5至 10 -5帕
气体接触材料
SUS304
圆盘密封
氟橡胶O型圈
轴封
氟橡胶O型圈
工作气压
0.4至0.6 MPaG
开/关指示器
配有微动开关（用于检测打开/关闭位置）

*也可生产特殊规格产品。
*为了改进目的，这些规格可能会有所变更，恕不另行通知。