OHKURA大仓 MF1141B 高性能流量控制器

 质量流量计/质量流量控制器/
MF1100B

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规格表（第 3 版）
MF1100B系列是一款高性能、低成本的质量流量计/质量流量控制器。它提供15个流量量程，从5 SCCM到20 SLM，可轻松用于从分析到工业用途的广泛应用。
特征
■高可靠性
内部电路集成，确保可靠性和紧凑性。

■高兼容性
可使用与本公司MF5100B系列相同的配管接头、电源、设定器。

■丰富的外围设备
提供指示灯、设定器、电源、带接头电缆等外围设备。
规格

模型
质量流量计
质量流量控制器
标准范围
低价商品
通用产品
低价商品
通用产品
控制范围
MF1121B
MF1111B
MF1171B（常闭）
MF1181B（常开）
MF1141B（常闭）
MF1151B（常开）
准确度评级
0~5 SCCM 0~100 SCCM 0~2 SLM
0~10 〃 0~200 〃 0~3 〃
0~20 〃 0~300 〃 0~5 〃
0~30 〃 0~500 〃 0~10 〃
0~50 〃 0~1,000 〃 0~20 〃
0.1~5 SCCM 2~100 SCCM 0.04~2 SLM
0.2~10 〃 4~200 〃 0.06~3 〃
0.4~20 〃 6~300 〃 0.1~5 〃
0.6~30 〃 10~500 〃 0.2~10 〃
1.0～50 〃 20～1,000 〃 0.4～20 〃
控制范围
-
2-100%满量程
准确度评级
±2%FS以下
±1.5%FS以下
±2%FS以下
±1.5%FS以下
线性
±1%FS以下
±0.7%FS以下
±1%FS以下
±0.7%FS以下
可重复性
±0.2%FS以下
±0.2%FS以下
±0.2%FS以下
±0.2%FS以下
响应时间
输出电压在约3秒内收敛到设定值的±2%FS以内。
最大工作压力
1.0兆帕
耐压性
1.5兆帕
压力损失
5.0千帕
工作压差
-
5SCCM~5SLM：34~275kPa
10~20SLM：69~275kPa
流量设定
-
0至5V直流
0 至 5V DC（标准）
1 至 5V DC（可选）
输出信号
0至5V直流
0 至 5V DC（标准）
1 至 5V DC（可选）
工作温度范围
5至45°C（与气体温度相同）
安装位置错误
±0.5%FS以下（安装方向自由）
泄漏标准
1.013×10 -9・m 3 /s(He)以下（标准）
管道连接
1/4 Swagelok（标准），VCR（可选）
气体接触材料
SUS316、氟橡胶
SUS316、氟橡胶、氟树脂
大量的
约680克
约800克
功耗
1VA或更低
3VA或更低