OHKURA大仓 MF5143B 大型流量控制器MF5100B 系列是集易用性和高性能于一体的质量流量计/质量流量控制器，包括宽流量范围、高温度稳定性和三种模式的软启动功能。
特征
■宽流量
范围 我们提供广泛的流量范围，从最小 5 SCCM 到最大 400 SLM。
■高可靠性：
通过集成各个电路并优化机械系统，我们在紧凑的尺寸下实现了高可靠性。
■软启动功能：
内置软启动功能提供可调节的线性启动时间（最长 70 秒），并可在三种模式下运行（更改设置时、通电时以及外部阀门关闭后再打开时）。
■高稳定性：
温度稳定性为 0.05%/°C，泄漏标准最高可达 1×10-10 Pa ·m3 / s (He)。
*有关规格，请参阅规格表。
