OHKURA大仓 RD2210A4 金属膜片微型阀

 该金属膜片减压阀可用于掺杂、外延等半导体工业用途、各种化学分析、特殊气体、高纯气体、腐蚀性气体等。
特征
■洁净材料
隔膜通过金属接头密封在阀体上，所有产品都经过氦气泄漏检查，无油、无水且经过清洁。

■高通用性
有八种类型可用于高压和低压，并且可进行面板安装和底部安装。

规格
物品 高压
RD210A1□1□ 低压
RD210A4□2□
耐压性 最大24.5MPa 最大2.94MPa
使用的主要压力 最大14.7MPa 最大2MPa
设定压力范围 171.6kPa
343kPa
686kPa
1372kPa
2059kPa 171.6千帕
343千帕
686千帕
有效孔口 φ0.7 φ2
CV值 0.015 0.1
一次压力特性*1 0.5%
*1 一次压力特性 (设定压力变动范围/一次压力变动范围)×100(10l/min时) 1.3%
*1 一次压力特性（设定压力变动幅度/一次压力变动幅度）×100（10 l/min时）
可重复性 ±0.98千帕
滞后 ±3.92千帕
外部泄漏 1.013×10-10Pa･m3/s（氦）以下
内部泄漏 1.013×10-8Pa･m3/s（氦气）以下
与流体接触部件的材料 SUS316、SUS316L、聚三氟氯乙烯
工作温度范围 -10 至 80°C
港口 60° 进×2 出×2 90° 进×1 出×2
连接端口
（连接VCR） 1/4NPT
Rc1/4
VCR1/4GR *2
*2 VCR是Swagelok公司的注册商标。
大量的 920克
面板切割 φ33