实惠 edwards爱德华 VIV40EKA 简单的手动进气阀

精品 edwards爱德华 VIV25EKA 24V DC 真空系统特殊阀

 适用于真空系统的特殊阀
专为专业应用所设计

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适用于真空系统的特殊阀
为何选择特殊阀？
特殊阀并非某种类型的阀，而是一种专门针对真空系统内特定及专业应用所设计的阀门类别。 

这些阀门有多种尺寸与设计款式可供选择，包括手动与气动，并且经常会整合进阶功能来解决预期应用的特定挑战。 

具有联轴器的AV5A 进气阀
AV5A 由铝合金制成。它有一个连接到螺丝致动活塞的控制旋钮：顺时针转动控制旋钮可关闭阀。丁腈O 形环可将活塞密封至阀体。 

此阀可用于直接连接、支撑管线或安装面板，而且可利用爱德华SC5 联轴器(随附) 连接至真空系统。

 
简单的手动进气阀
直接连接、支撑管线或安装面板
经由SC5 联轴器(随附) 连接
具有联轴器的AV5A 进气阀
AV10K
AV10K 进气阀
AV10K 的制造和运作方式与AV5A 相同，唯一不同的是两者的连接方式。

此阀仅支援管线，并利用NW10 接头连接至真空系统。

简单的手动进气阀
仅支援管线
经由NW10 接头连接
BRV 前级真空阀/粗真空阀
附带ISO NW 粗真空与前段泵浦终止的BRV 前级真空阀/粗真空阀，采用手动或气动致动功能。它们将单独的前级真空阀/粗真空阀的功能结合在一个整合式3 连接埠装置中。

随附弹性的氯丁橡胶接头，适用于前级真空连接口。在适当的NW 终止处终止粗真空与前段泵浦埠。

容易操作‑ 两个埠口关闭位置 
使用寿命长‑ 100,000 次或以上的操作次数 
气动阀上的位置指示器 
密封性优于10 ‑9 mbar ls ‑1 /8 x 10 ‑10 Torr ls ‑1
BRV10K
IPV10EK
IPV10EK 进气阀NW10
IPVA10EK 是电磁圈操作阀，专为自动进气或将气体排入真空系统而设计。

阀具有两个含NW 法兰的埠。其中一个阀埠连接真空系统，另一个埠可对空气开放或连接至排气供应装置。

真空系统透过阀活塞底部的氟橡胶垫与空气(或排气供应装置) 隔离，该氟橡胶垫会密封阀体。

常开或常关选项 
小型外壳
IP65 防护
MTTF 500,000 个周期
QSB 四分之一旋启式蝶阀
QSB 四分之一旋启式蝶阀是精巧、快速作动、高气导率隔离阀。 QSB 阀具有抛光、不锈钢、ISO 法兰主体，以及氟橡胶O 形环密封阀板与轴。阀板O 形环沟槽有排气口，有助于维持稳定的高真空度。阀轴O 形环和轴承使用Fomblin® 润滑脂润滑，以防止气体从轴密封后方暴冲。 

此阀随附共同密封件。 

手动操作 
高传导性
任一方向都具耐大气特性 
精巧且快速作动 
抗腐蚀结构 
QSB63
VIV 真空隔离阀- 右侧视图
VIV 真空隔离阀
VIV 真空隔离阀具高气导率，快速作动高真空隔离阀的设计旨在防止蒸气或微粒从前级泵浦移至制程腔体。

当VIV 关闭时，前级泵浦会安全排气。 VIV 可在泵浦停止或受到制止时保护制程腔体不被泄露。重新启动前级泵浦时，阀会在VIV 内的压力下降时缓慢开启，将任何压力突增的影响降至最低。

VIV 真空隔离阀适合与爱德华小型干式初级泵浦系列nXDS、XDS、nXLi 和nXRi 搭配使用。 

高气导率 
快速关闭动作 
电源故障防护 
弹性安装选项 
不限制初级泵浦效能 
防止蒸汽或微粒从前级泵浦移至制程腔体 
防止在电源供应器故障时处理腔体排气 
针对安装M8 阀接头或15 针D 型逻辑介面接头的爱德华前级泵浦，我们建议使用24V dc 阀和选用配件缆线或VIV Link，因为这可提供更高的保护层级。