精品 edwards爱德华 BGV MK3 不锈钢气动闸阀
适用于真空系统的闸阀
VAT 闸阀适用于较高的整体密封性
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适用于真空系统的闸阀
为何选择闸阀?
闸阀提供简单却创新的楔形、无润滑脂密封机构、不锈钢结构和坚固耐用的设计。
这些阀门特别适合气流中制程副产物较高的应用,这些阀在严苛环境中具有长久使用寿命与可靠性。
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闸阀CF
闸阀ISO-K ISO-F
闸阀ISO-KF
BGV 手动闸阀
BGV 闸阀是波纹管式密封不锈钢闸阀,适用于需要高密封性与真空系统中最少碳氢化合物的应用。虽然BGV 闸阀主要设计用于隔离半导体晶圆厂地下室的泵浦,但也非常适合在开启处需要1 巴差分的其他应用中使用。
其设计适用于1.2 巴绝对压力至1 x 10 ‑8 mbar (1.2 x 105 至1x10 ‑6 Pa) 的压力范围。 BGV 闸阀在任一方向均可承受1.2 巴的绝对压力,允许在阀门关闭的情况下对泵浦上方的真空管路进行排气。 BGV 手动阀会在组件开启时,以视觉方式指示组件侧边的闸位。
能够在任一方向完全承受1.2 巴。在保养期间让泵浦保持运转,避免重新启动问题。
不锈钢结构与坚固耐用的设计。
在严苛环境中提供长久的使用寿命与可靠性
气动电磁圈和预先配线选项。
预先配置的简单「即插即用」安装。
简单的无润滑脂密封机构。将多尘制程中微粒所造成的损坏降至最低。
BGV 手动闸阀
BGV 手动闸阀
BGV MK3 气动闸阀
BGV MK3 气动闸阀
BGV MK3 气动闸阀
BGV Mk3 气动闸阀的运作方式与手动闸阀相同,但气动阀有磁簧开关,可让您的控制设备使用此开关来判断阀是开启或关闭,这些装置也包含LED,可以视觉显示阀位置。
每个BGV Mk3 气动阀均配备24V dc 电磁圈及预先配线插头,可直接连接爱德华最新一代真空泵浦(iHH、iXL、iXM 和GXS)。这款15 针D-sub 插座插头提供连接电磁圈电源的单点,并从磁簧开关位置指示灯启动LED。 BGV 阀可选配15 针「D」型插座缆线与磁簧开关位置指示器。但是,缆线长度仅约为50 公分,需要较长的延长线才能连接泵浦或本机控制器。
若要将BGV Mk3 气动阀连接至爱德华旧式产品,应使用BGV Mk2 TIM 介面缆线。 LED 的功能在旧式产品(iGX、GX 或透过iTIM 模组的iQ 和iH) 上不可用,因为泵浦不提供DC 24V 电源来启动LED。然而,阀门定位指示器的基本功能可在不需要电力的情况下开启和关闭,并由磁场触发。
能够在任一方向完全承受1.2 巴。在保养期间让泵浦保持运转,避免重新启动问题。
不锈钢结构与坚固耐用的设计。在严苛环境中提供长久的使用寿命与可靠性。
气动电磁圈和预先配线选项。
预先配置的简单「即插即用」安装。
简单的无润滑脂密封机构。将多尘制程中微粒所造成的损坏降至最低。
另外也提供上锁挂牌(LOTO) 版本。
手动与气动BGV 闸阀如何运作?
具有LOTO 安全功能的BGV 不锈钢闸阀
BGV LOTO 气动闸阀包含标准BGV 系列的所有优点,具备LOTO 安全功能与低功率。
BGV LOTO 闸阀是波纹管式密封不锈钢闸阀,适用于需要高密封性与真空系统中最少碳氢化合物的应用。虽然BGV 阀主要设计用于隔离半导体晶圆厂地下室的泵浦,但也非常适合在开启处需要1 巴差分的其他应用中使用。
独特的上锁挂牌(LOTO) 安全机构可让人员在真空系统上自由运作,无需担心阀门意外开启。使用插销将阀门锁定关闭以防止其打开,进而使阀门保持实体关闭。如果阀门需要上锁,可透过LOTO 插销插入锁定搭扣并挂锁。
其设计适用于1.2 巴绝对压力至1 x 10 ‑9 mbar (1.2 x 105 至1x10 ‑7 Pa) 的压力范围。 BGV 阀在任一方向均可承受1.2 巴的绝对压力,允许在阀门关闭的情况下对泵浦上方的真空管路进行排气。
仅1 W 的低功率致动要求可直接连接到爱德华最新一代干式泵浦系列,无需任何额外的外部电源,有助于「即插即用」的简单安装。
您的控制设备可使用磁簧开关来判断阀是开启或关闭,这些装置也包含LED,可以视觉显示阀位置。每个阀门均配备24V dc 电磁圈及预先配线插头,可直接连接爱德华最新一代真空泵浦。这款15 针「D」型插座插头为电磁圈的电源和来自磁簧开关位置指示器的讯号提供单点连接。 BGV 阀可选配15 针「D」型插座缆线与磁簧开关位置指示器。但是,缆线长度仅约为50 公分,需要较长的延长线才能连接泵浦或本机控制器。
若要将BGV LOTO 气动阀连接至爱德华旧式产品,应使用BGV TIM 介面缆线。 LED 的功能在旧式产品上无法使用,因为泵浦不提供DC 24V 电源来启动LED。
BGV 不锈钢LOTO 安全
BGV 不锈钢LOTO 安全
具有LOTO 安全功能的BGV 不锈钢闸阀如何运作?
创新的简易楔形密封机构结合PEEK 平滑器,使此阀门特别适合用于气流中制程副产物含量较高的应用:
阀内没有油、润滑脂或复杂的移动零件,可免除因制程碎屑污染而导致机构受损的风险
PEEK 平滑器不提供金属对金属的接触,并用于控制O 形环的压缩
当闸门关闭时,O 形环在密封前会短暂地刷过密封表面,以协助清除密封表面上的碎屑,进而提供更好的密封
LOTO 阀可牢固锁定。在保养期间提供安全的工作环境
仅1 W 低功率致动,直接连接爱德华最新一代干式泵浦
能够承受任一方向1.2 巴的绝对压力。让泵浦在保养期间继续运转
气动电磁圈和预先配线选项。预先配置的简单「即插即用」安装
不锈钢结构与坚固耐用的设计。在严苛环境中提供长久的使用寿命与可靠性
简单的无润滑脂密封机构。将多尘制程中微粒所造成的损坏降至最低
使用BGV LOTO 气动阀时
BGV LOTO 气动阀可直接插入我们最新一代的干式真空泵浦,以发挥完整功能性。最新一代产品包括:iXH、iXL、iXM 和GXS 泵浦。
若要将BGV LOTO 气动阀连接至我们的旧式产品,应使用BGV Mk2 TIM 介面缆线。旧式产品包括:iGX、GX (或透过iTIM 模组的iQ 和iH) 泵浦。
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