EMT型涡轮分子泵 EBARA荏原机械

我们提供两种类型的涡轮分子泵：磁力轴承 EMT 型和滚珠轴承 EBT 型。它们支持 340 至 4,200 L/min 的广泛排气速度范围，并可选择集成控制器以及水冷或空冷系统。凭借包括高温规格、耐腐蚀规格、反应副产物兼容性和低振动等丰富的选项，它们可以灵活地适应各种应用。

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