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ESA15-D 干式真空泵 EBARA荏原机械

ESA系列提供适用于氢气等轻质气体排气的排气量为1,400 L/min～10,000 L/min的型号，以及适用于大型腔室高速排气的排气量为20,000 L/min～80,000 L/min的型号。适用于轻质气体排气的排气量为10,000 L/min以下的型号，设计紧凑，并有耐腐蚀材质可供选择，非常适合MO-CVD等高流量轻质气体排气应用。大型型号具有高排气量、安静、低振动的特点，还提供有机溶剂排气选项，非常适合LCD溅射设备、真空干燥工艺、大型负载锁等应用。

所属分类：
EBARA荏原机械
发布时间： 2025-10-24

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ESA系列提供适用于氢气等轻质气体排气的排气量为1,400 L/min～10,000 L/min的型号，以及适用于大型腔室高速排气的排气量为20,000 L/min～80,000 L/min的型号。适用于轻质气体排气的排气量为10,000 L/min以下的型号，设计紧凑，并有耐腐蚀材质可供选择，非常适合MO-CVD等高流量轻质气体排气应用。大型型号具有高排气量、安静、低振动的特点，还提供有机溶剂排气选项，非常适合LCD溅射设备、真空干燥工艺、大型负载锁等应用。

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标签： EBARA荏原机械 ESA15-D 干式真空泵