■高可靠性
通过内部电路的集成化，实现了可靠性和小型化。
■高兼容性
可使用与MF5100B系列相同的配管连接材料、电源、设定装置。
■丰富的外围设备
外围设备包括指示灯、设定装置、电源、带连接器的电缆等。
| 模型 | 质量流量计 | 质量流量控制器 | ||
|---|---|---|---|---|
| 标准范围 | 低价商品 | 通用产品 | 低价商品 | 通用产品 |
| 控制范围 | MF1121B | MF1111B | MF1171B（常闭） MF1181B（常开） |
MF1141B（常闭） MF1151B（常开） |
| 准确度等级 | 0~5 SCCM 0~100 SCCM 0~2 SLM 0~10 〃 0~200 〃 0~ 3 〃 0~20 〃 0~300 〃 0~5 〃 0~30 〃 0~500 〃 0~10 〃 0~50 〃 0~1,000 〃 0~20 〃 |
0.1~5 SCCM 2~100 SCCM 0.04~2 SLM 0.2~10 〃 4~200 〃 0.06~3 〃 0.4~20 〃 6~300 〃 0.1~5 〃 0.6~30 〃 10~500 〃 0.2~10 〃 1.0～50 〃 20～1,000 〃 0.4～20 〃 |
||
| 控制范围 | - | 2～100%满量程 | ||
| 准确度等级 | ±2%FS以下 | ±1.5%FS以下 | ±2%FS以下 | ±1.5%FS以下 |
| 线性度 | ±1%FS以下 | ±0.7%FS以下 | ±1%FS以下 | ±0.7%FS以下 |
| 再现性 | ±0.2%FS以下 | ±0.2%FS以下 | ±0.2%FS以下 | ±0.2%FS以下 |
| 响应时间 | 输出电压在大约 3 秒内收敛到设定值的 ±2%FS 以内。 | |||
| 最大工作压力 | 1.0MPa | |||
| 耐压性 | 1.5兆帕 | |||
| 压力损失 | 5.0kPa | |||
| 工作压差 | - | 5SCCM~5SLM: 34~275kPa 10~20SLM: 69~275kPa |
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| 流量设定 | - | 0~5V直流 | 0~5V DC（标配） 1~5V DC（可选） |
|
| 输出信号 | 0~5V直流 | 0~5V DC（标配） 1~5V DC（可选） |
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| 工作温度范围 | 5～45℃（相同气体温度） | |||
| 安装位置误差 | ±0.5%FS以下（安装位置自由） | |||
| 泄漏标准 | 1.013×10 -9・m 3 /s(He)以下（标准） | |||
| 管道连接 | 1/4 Swagelok（标准），VCR（可选） | |||
| 气体接触材料 | SUS316、氟橡胶 | SUS316、氟橡胶、氟树脂 | ||
| 大量的 | 约680克 | 约800克 | ||
| 功耗 | 1VA以下 | 3VA以下 | ||
