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山金全新 MF5100B 质量流量控制器 OHKURA大仓

MF5100B系列是一款集易用性和高性能于一体的质量流量计/质量流量控制器,具有宽流量范围、高温稳定性和3种模式的软启动功能等特点。
  • 详细介绍
特征

■流量范围广
我们的流量范围广,从最小5SCCM到最大400SLM。

■高可靠性
通过集成各电路并优化机械系统,尽管尺寸较小,但仍实现了高可靠性。

■软启动功能
内置软启动功能具有线性启动时间,最长可调节70秒,并以三种模式运行(更改设置时、打开电源时以及外部阀门关闭和打开时)。

■高稳定性
温度稳定性为0.05%/℃,泄漏标准高达1×10 -10 Pa·m 3

/s(He)。 *请参阅规格表了解规格。

本文网址 : https://www.yamakin-cn.com/product/4373.html

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