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原装直销 RD2210A 高性能减压阀 OHKURA大仓

金属隔膜减压阀,可用于掺杂、外延等半导体行业、各种化学分析、特殊气体、高纯气体、腐蚀性气体等。
  • 详细介绍
特征

■清洁部件
隔膜与主体采用金属结合密封,所有产品均经过检漏、无油、无水、清洁。

■通用性高
共有8种类型,一种用于高压,一种用于低压,并且可以面板安装和底部安装。

规格
物品
RD210A1□1□高压用

RD210A4□2□低压用
耐压性 最大24.5MPa 最大2.94MPa
使用的初级压力 最大14.7MPa 最大2MPa
设定压力范围 171.6kPa
343kPa
686kPa
1372kPa
2059kPa
171.6kPa
343kPa
686kPa
有效孔口 φ0.7 φ2
CV值 0.015 0.1
一次压力特性*1 0.5%
*1 一次压力特性(设定压力变动幅度/一次压力变动幅度)×100值(10l/min时)
1.3%
*1 一次压力特性(设定压力变动范围/一次压力变动范围)×100值(10l/min时)
再现性 ±0.98kPa
滞后现象 ±3.92kPa
外漏 1.013×10-10Pa·m3/s(He)以下
内漏 1.013×10-8Pa·m3/s(He)以下
与流体接触部件材质 SUS316、SUS316L、聚四氟乙烯
工作温度范围 -10~80℃
港口 60°进×2出×2 90°进×1出×2
连接端口
(连接录像机)
1/4NPT
Rc1/4
VCR1/4GR *2
*2 VCR 是世伟洛克公司的注册商标。
大量的 920克
面板切割 φ33
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