■改善均热特性
与工作温度相匹配的加热器与我们的高性能控制器相结合，可实现稳定的温度控制和均热长度。
■适用于100至200毫米晶圆。
扩散炉系统从φ100mm到φ200mm，可以满足客户的要求。
■维护方便
即使其他加热器的温度上升，该结构也可以安全地更换热电偶和加热器。
■性价比
通过精选的零部件和精简的结构，实现了低廉的价格。
■支持更新
通过将外部尺寸保持在最小限度，我们还可以适应空间有限的旧系统的更新。
| 晶圆尺寸 | ～φ200mm | ～φ150mm | ～φ125mm | ～φ100mm |
|---|---|---|---|---|
| 炉体尺寸 *1 |
宽2650mm× 深1200mm× 高2580mm |
宽 2300 毫米 x 深 850 毫米 x 高 2395 毫米 |
宽 2180 毫米 x 深 850 毫米 x 高 2395 毫米 |
宽1850mm× 深700mm× 高2150mm |
| 浸泡长度 *2 |
900mm±1.0℃ （无气体） |
900mm±1.0℃ （无气体） |
800mm±1.0℃ （无气体） |
800mm±1.0℃ （无气体） |
| 温度范围 | 600～1200℃ | 600～1200℃ | 600～1200℃ | 600～1200℃ |
| 温度控制 | 3区独立控制 | 3区独立控制 | 3区独立控制 | 3区独立控制 |
| 运输系统（可选） | 软装船 升降机 |
软装船 升降机 装船机 |
软装船 升降机 装船机 |
装船机 |
