特征

■可高速加热/下降（兼容FTP）
采用立式电阻加热方式的独特加热器可实现高速加热/高温加工，一台设备即可应对高速加热/冷却和普通加工。

■我们独特的晶圆传送系统
我们独特的晶圆传送系统提供了高度可靠的驱动装置。

■配备间距转换机构
船可以通过将沟槽间距转换为任何所需的间距来传送晶圆。 （设定范围：4.76 至 9.52mm） 晶圆在晶圆盒之间传送。

■注重生产性和操作性的设备
操作部采用带触摸屏的TFT面板，生产性高且易于操作。

■可将晶圆放入低温炉内。
晶圆可以在低温下放入炉中。显着减少大气夹带的影响。

■反应管的装卸安全、简便
使用自动升降机，可以更安全、简便地装卸反应管。

■独特的温度控制系统
通过采用独特的加热器和温度控制系统方法，显着提高了温度恢复特性。

■维护性
该设计旨在确保即使安装多个单元时也易于维护和操作。