■性价比
能够通过定制客户服务并缩短启动时间来提供低廉的价格
■装配性能
设备外形与现有洁净室兼容
机身尺寸：H2600 x W900 x D1280
■维护性能
主要部件和软件都是内部开发的，因此可以持续维护到未来
■定制性能
可以进行各种定制，以满足客户需求
■产品性能
节省占地面积，可替代卧式炉
■能源性能与卧式
炉相比，实现节能 10%我们公司通过开发高效加热器
可选件，可以实现高速升温和降温以及高温过程。
| ●基本规格 | |
|---|---|
| 结构： | 垂直向下开启方式 |
| 加工晶圆直径： | 4、5、6、8英寸 |
| 处理张数： | 加工晶圆 150 片晶圆（6 英寸以下） 100 片晶圆（8 英寸） |
| 磁带存储： | 最多 8 个包埋盒（6 英寸或更小），包括工艺包埋盒和虚拟包埋盒 |
| 最多 6 个包埋盒（8 英寸或更小），包括工艺包埋盒和虚拟包埋盒 | |
| 过程： | 湿法・干法・退火等 |
| 使用气体： | 氮气、氧气、氢气等 |
| 晶圆处理： | 固定 3 张（标准）、一次 5 张/1 张（可选） |
| 升温/降温速率： | 升温 10℃/min max 降温 3℃/min max |
