OHKURA大仓 质量流量控制器/ MF5100B
OHKURA大仓 质量流量控制器/ MF5100B
质量流量控制器/ MF5100B ◆下载规格 规格表 MF5100B 型质量流量控制器具有高达 400 SLM 的量程扩展能力、更高的温度稳定性和多种功能。 特征 ■ 最小范围 5 SCCM 和最大 400 SLM ‹›■ 紧凑尺寸 ‹■■ 标准软启动功能 ‹›■ 最小泄漏量 1.013 × 10 -10 Pa·m 3 /s (He)
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