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kokusan科库森 旋转式脱水机(离心式脱水机)SPD-180 日本

特点和用途
该设备作为半导体行业的晶圆干燥设备,拥有良好的应用记录。
它利用离心力和气流通过超低损耗空气过滤器(ULPA过滤器)来清洁干燥工件。
  • 详细介绍

主要规格

电源 AC200V 3φ 50/60Hz 8A
驱动空气 0.3兆帕(3千克/平方厘米
最大处理量 8英寸 x 25页纸盒 1个纸盒
ULPA过滤器 是的
离子发生器 是的
控制 PLC/变频器
操作部 触摸面板
注册操作规程的数量 5种类型
转速 3,500 转/分 
(5 英寸及以下),3,000 转/分(6 英寸及以上)
发动机 变频电机
尺寸 尺寸:652(宽)x 1135(深)x 1080(高)毫米;
盖子打开时高度:1352(高)毫米
重量 110公斤

*我们还提供一系列其他可处理最大 8 英寸工件的机器,包括手动机器和自动机器。

本文网址 : https://www.yamakin-cn.com/product/5097.html

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