| 类型 | OPTM-A1 | OPTM-A2 | OPTM-A3 |
| 波长范围 | 230至800纳米 | 360至1100纳米 | 900至1600纳米 |
| 薄膜厚度范围*1 | 1纳米至35微米 | 7纳米至49微米 | 16纳米至92微米 |
| 样本量*2 | 最大尺寸 200 x 200 x 17 毫米 | ||
| 斑点直径 | φ5、φ10、φ20、φ40 微米 | ||
*以上规格包含自动XY平台。
*1 薄膜厚度范围按SiO2计算。
*2 有关 300 毫米平台的问题，请另行联系我们。
| 类型 | 自动XY平台类型 | 固定框架类型 | 内置式头部 |
| 尺寸 （宽 x 深 x 高） |
556×566×618 毫米 | 368×468×491毫米 | 210×441×474 毫米 90×250×190 毫米* |
| 重量 | 66公斤 | 38公斤 | 23公斤 4公斤* |
| 最大功耗 | 交流100V±10V 500VA | 交流100V±10V 400VA | |
*交流/直流电源单元
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