| 物品 | 专业版 | 标准 |
| 模型 | SM-100P | SM-100S |
| 测量方法 | 反射光谱法(光学干涉法) | |
| 测量薄膜厚度范围*1 | 0.1 至 100 微米(单层) 1 至 100 微米(多层) |
1至50微米(单层) |
| 多层支撑 | 最多 3 层 | 1层 |
| 测量重复性 | 2.1σ 0.01μm(氧化硅薄膜 1μm) | |
| 测量点直径 | 直径 1 毫米或更小 | |
| 数据输出格式 | 以文本格式导出到U盘 | |
| 体型 | 尺寸约为 138(宽)x 198(深)x 61(高)毫米 (含凸起部分) |
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| 重量 | 约1.1公斤 | |
| 运行时间 | 超过 4 小时(测量期间) | |
| 电源电压/功率 | AC100-240V/35VA(交流适配器输入) | |
| 保护等级 | IP30/IK06 | |
*1 当样品折射率为 1.6 时
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