| 模型 | FE-5000系列 | |
| 测量方法 | 旋转分析仪法* 1 | |
| 测量薄膜厚度范围（nd） | 0.1纳米至1微米 | |
| 入射（反射）角范围 | 45至90度 | |
| 入射（反射）角驱动方法 | 自动正弦杆驱动系统 | |
| tan ψ 测量精度 | ±0.01 或更小 | |
| cosΔ测量精度 | ±0.01 或更小 | |
| 薄膜厚度的重复性 | 0.01% 或更低* 2 | |
| 波长范围* 3 | 300至800纳米 | |
| 测量光源 | 高稳定性氙灯 | |
| 舞台驱动系统 | 手动/自动 | |
*1 偏振器可驱动，并配有可拆卸式延迟器用于消除死区。
*2 使用 VLSI 标准 SiO2 薄膜（100 nm）时的数值。
*3 选择自动载物台时的数值。
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