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特征
光学方法可实现非接触式、无损的厚度测量。
高测量重复性
可以实现高速、实时抛光监控。
较长的工作距离 (WD) 便于集成到设备中。
通过主机设备的局域网，使用 TCP/IP 通信进行控制
可进行多层厚度测量
能够测量临时晶圆（临时键合晶圆）每一层的厚度

SF-3 规格

*1：测量初始标准样品气隙约为 1000 μm 时的相对标准偏差 (n = 20)
*2：使用 WD 80 mm 探头时的设计值

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标签：货存 Otsuka大冢电子光谱干涉法晶圆厚度计 SF-3

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