目的
・半导体制造
・电子枪排气、离子源排气
・FPD制造
・表面处理、表面改性
・制造各种电子元件
・分析和测试设备
灯泡制造、光学元件制造
加速器、辐射设施、核聚变研究
・热处理
・研发
*排放腐蚀性气体时，请选择与化学品兼容的 TG-M 或 TG 系列。
| 进气法兰 | VG65 ISO-R63 CF63 |
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| 泵送速度 | N2 （升/秒） | 51 |
| N 2（带防护网）（升/秒） | 49 | |
| H2 （升/秒） | 12 | |
| 最大压缩比 | N2 | 1.4× 10⁷ |
| H2 | 5× 102 | |
| 极限压力 | VG・ISO-R/CF (Pa) | <3× 10 |
| VG・ISO-R/CF（托） | <2.3× 10-8 | |
| 最大气体流量*1 | N2 （ sccm） | 80 |
| 启动时间 | （分钟） | 1-1.5 |
| 停机时间 | （分钟） | 1-1.5 |
| 允许的辅助压力 | （帕/托） | 1330 / 10 |
| 推荐的备用泵 | （升/分钟） | ≥50 |
| 安装位置 | 自由 | |
| 大量的 | VG･ISO-R / CF(kg) | 4.2 / 6 |
| 控制器模型 | TC64 | |
*1：辅助泵流量为 100 升/分钟时的最大允许流量
【环境温度】
保证极限压力下的环境温度为10～23℃。空冷型号的允许环境温度为10～32℃，水冷型号的允许环境温度为10～40℃。保证极限压力下的冷却水温度为30℃或以下，允许冷却水温度为10～35℃。
【兼容气体】
根据吸入气体的类型，可能会对轴承润滑脂和内部零件造成损害。请联系我们获取兼容气体的相关信息。
