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进口 osakavacuum大阪真空 TG390M 磁轴承式复合分子泵

新型磁轴承涡轮分子泵TG397M/TG427M/TG907M/TG1307M的特点


节能设计
运行数据、着陆次数、型号信息等可以存储在主机中。*即使在检修期间更换了控制器,数据也可以传输。
多种通信规范:并行 I/O、RS232C、RS485、Profibus、DeviceNet、EtherCAT
国际标准符合性:NRTL/SEMI-S2/CE
  • 详细介绍

目的

  • 半导体制造设备  
  • FPD制造设备
  • 太阳能电池制造设备
  • 加工光学元件,例如玻璃和透镜
  • 胶片冲洗
  • 加速器/空间环境测试设备
本文网址 : https://www.yamakin-cn.com/product/5283.html

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