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供货 osakavacuum大阪真空 TG420ML超低振动涡轮分子泵

供货 osakavacuum大阪真空 TG420ML超低振动涡轮分子泵

TG-ML系列超低振动涡轮分子泵的特点


半导体制造正朝着小型化和高集成度方向发展。与此同时，分析、测量和检测过程也需要更高的精度和性能。即使在微加工、测量和分析微小区域时控制技术不断改进，如果设备振动，这些改进也毫无意义。因此，市场对能够降低振动的真空泵有着强烈的需求。



我们已成功将泵体的振动值抑制到1纳米以下！*根据我们自己的测量方法
配备专用减震器后，振动水平进一步降低了一个数量级！
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TG-ML系列超低振动涡轮分子泵的特点

 

半导体制造正朝着小型化和高集成度方向发展。与此同时，分析、测量和检测过程也需要更高的精度和性能。即使在微加工、测量和分析微小区域时控制技术不断改进，如果设备振动，这些改进也毫无意义。因此，市场对能够降低振动的真空泵有着强烈的需求。

 

  • 我们已成功将泵体的振动值抑制到1纳米以下！*根据我们自己的测量方法
  • 配备专用减震器后，振动水平进一步降低了一个数量级！

  • 目的

    • 下一代半导体制造设备，包括EUV曝光设备
    • 高精度、高性能电子显微镜、分析设备、测量设备等。
本文网址 ： https://www.yamakin-cn.com/product/5285.html
标签 ： 供货 osakavacuum大阪真空 TG420ML超低振动涡轮分子泵

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