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货存 osakavacuum大阪真空 TG900MU 超高真空型涡轮分子泵

TG-MU系列超高真空涡轮分子泵的特点


在超高真空环境中,大部分残余气体是氢气等轻质气体。通过提高轻质气体的抽气性能,更容易获得更好的真空环境。
如果通过初始抽真空能够获得良好的真空环境,则可以在残留气体较少的情况下进行制造过程,从而提高产品质量。
  • 详细介绍

TG-MU系列超高真空涡轮分子泵的特点

 

  • 在超高真空环境中,大部分残余气体是氢气等轻质气体。通过提高轻质气体的抽气性能,更容易获得更好的真空环境。
  • 如果通过初始抽真空能够获得良好的真空环境,则可以在残留气体较少的情况下进行制造过程,从而提高产品质量。

目的

・溅射设备、分析测试设备等。
・高性能半导体和电子元件的开发和制造等。
・加速器、同步辐射装置、核聚变研究等。

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