全球MRO工业品服务商

增值增效一站式管家服务

24小时咨询热线：

15768892214

产品分类

PRODUCT CLASSIFICATION

山金现货 osakavacuum大阪真空 TG390MI 反应产物涡轮分子泵

TG-MI系列涡轮分子泵用于反应产物的特点

本系列产品专为反应产物容易积聚的设备而设计，采用我们专有的隔热结构和自加热机制，显著降低反应产物的积聚速率。

传统方法是对包括目标区域在内的整个区域进行加热以防止反应产物生成
：热量分散，
无法有效利用。
热量在目标区域之外无效。

TG-MI系列泵的应对措施：
除了使用外部加热器加热外，该泵还能有效利用泵内吸入气体摩擦产生的热量，高效加热与气体接触的部件
，从而降低外部加热器的输出功率，提高节能效果！
・减少关键部件的热冲击，降低泵的损坏。
・排气管道也采用了隔热措施，保持最佳温度，防止排气管道内产生副产物。

所属分类：
osakavacuum大阪真空
发布时间： 2026-01-29

留言咨询

详细介绍

TG-MI系列涡轮分子泵用于反应产物的特点

本系列产品专为反应产物容易积聚的设备而设计，采用我们专有的隔热结构和自加热机制，显著降低反应产物的积聚速率。

传统方法是对包括目标区域在内的整个区域进行加热以防止反应产物生成
：热量分散，
无法有效利用。
热量在目标区域之外无效。

TG-MI系列泵的应对措施：
除了使用外部加热器加热外，该泵还能有效利用泵内吸入气体摩擦产生的热量，高效加热与气体接触的部件
，从而降低外部加热器的输出功率，提高节能效果！
・减少关键部件的热冲击，降低泵的损坏。
・排气管道也采用了隔热措施，保持最佳温度，防止排气管道内产生副产物。
目的
- 用于半导体、FPD、MEMS制造等的蚀刻设备
- 容易产生反应产物的工艺设备