■耐腐蚀性气体排放的化学型
■能够抵抗突然大气入侵的结构
■ 抗外部冲击
■可进行串行通信
■安全标准
NRTL/SEMI-S2/CE
目的
・半导体制造
・电子枪排气、离子源排气
・FPD制造
・表面处理、表面改性
・制造各种电子元件
灯泡制造、光学元件制造
加速器、辐射设施、核聚变研究
・热处理
・研发
*对于洁净工艺，请选择 TG-F 系列、TG-M 系列或 TGkine 系列。
| 进气法兰 | VG100 CF100 ISO-R100 |
|
| 泵送速度 | N2 （升/秒） | 200 |
| N 2（带防护网）（升/秒） | 140 | |
| H2 （升/秒） | 150 | |
| 最大压缩比 | N2 | 1× 108 |
| H2 | 4× 103 | |
| 极限压力 | VG・ISO-R/CF (Pa) | <1×10⁻⁶ / <1× 10⁻⁷ |
| VG・ISO-R/CF（托） | <7.5×10-9 / < 7.5× 10-10 | |
| 最大气体流量*1 | N2（sccm） | 543 |
| 启动时间 | （分钟） | 4-6 |
| 停机时间 | （分钟） | 4-6 |
| 允许的辅助压力 | （帕/托） | 550/4.1 |
| 推荐的备用泵 | （升/分钟） | 80 |
| 润滑剂用量 | （毫升） | 70 |
| 安装位置 | 垂直（±10°） | |
| 大量的 | （千克） | 11 |
| 控制器模型 | TC203 | |
