■强旋转轴
→可实现低真空启动和连续低真空运行
■您可以选择与负载条件相匹配的电机
→ 降低设备成本和提高运营效率可节省成本
■多种泵速可供选择
→ 90 至 12,000立方米/小时
■与辅助泵的各种组合
→罗茨式+油旋转/液封型
■ 皮带传动，实现高泵送速度
■非常适合用于排出大容量腔室内的气体
■泄压阀（可选）即使在高吸入压力范围内也能最大限度地提高排气能力
■ 提出最适合您流程的最佳组合
目的
・半导体、FPD
・薄膜涂层
・金属、钢铁、工业设备
・医疗、化工、制药、食品
・研发
| 进气法兰 | 300A JIS 5KFF | |
| 额定排气速度*1 （立方米/小时） | 50赫兹 | 6000 |
| 60赫兹 | 6000 | |
| 允许压差（kPa） [使用标准电机时] |
50赫兹 | 4.7 |
| 60赫兹 | 4.7 | |
| 测试压力（Pa） | 单级RP型后备泵 | 7× 10 |
| 辅助泵 2 级 RP | 1.3× 10-2 | |
| 备用泵标准抽水速度（立方米/小时） | 690 至 900 | |
| 转速（转/分钟） | 50赫兹 | 1200 |
| 60赫兹 | 1200 | |
| 标准电机输出功率（kW） | 11 | |
| 油量（升） | 2.5 | |
| 冷却水量*2 (立方米/小时) | 1.1 | |
| 质量（千克） | 全封闭风冷式室内电机 | 1050 |
| 无电机 | 940 | |
*1：有效泵速取决于辅助泵。详情请咨询我们的销售代表。
*2：冷却水最高温度为30℃。
运行环境温度：+10℃至+40℃；储存环境温度：-5℃至+60℃。
为防止结冰，储存前请排空冷却水。
