目的
| 进气法兰 | VG100 CF100 ISO-R100 |
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| 泵送速度 | N2 （升/ 秒） | 二十五 |
| N 2（带防护网）（升/秒） | 23 | |
| H2 （升/ 秒） | 13 | |
| 最大压缩比 | N2 | 2× 106 |
| H2 | 50 | |
| 最大气体流量*1，*2 | N2 （ sccm） | 600 |
| 启动时间 | （分钟） | 2.5–3.5 |
| 停机时间 | （分钟） | 2.5 至 5 |
| 极限压力*3 | （宾夕法尼亚州） | < 1× 10-4 |
| （托尔） | < 7.5× 10 | |
| 允许的辅助压力 | （宾夕法尼亚州） | 1200 |
| （托尔） | 9 | |
| 推荐的备用泵 | （升/分钟） | ≥80 |
| 安装位置 | 直立（±10°） | |
| 大量的 | （千克） | 11 |
*1：1 Pa・L/s (25℃) = 0.543 sccm (0℃, 1 大气压)
*2：排气口辅助排气速度为 160 L/min 时的值。
*3：烘烤 48 小时后获得的值。
